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靶材的應用領域有哪些?

最佳答案:

  靶材材料的技術發展趨勢與下游應用產業的薄膜技術發展趨勢息息相關,隨著應用產業在薄膜產品或元件上的技術改進,靶材技術也應隨之變化。如Ic制造商.近段時間致力于低電阻率銅布線的開發,預計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜,這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發將刻不容緩。


  另外,近年來平面顯示器(FPD)大幅度取代原 以陰極射線管(CRT)為主的電腦顯示器及電視機市場.亦將大幅增 加ITO靶材的技術與市場需求。此外在存儲技術方面。高密度、大容量硬盤,高密度的可擦寫光盤的需求持續增加. 這些均導致應用產業對靶材的需求發生變化。


在儲存技術方面,高密度、大容量硬盤的發展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,CoF ~Cu多層復合膜是如今應用廣泛的巨磁阻薄膜結構。磁光盤需要的 T b F e C o合金靶材還在進一步發展,用它制造的磁光 盤具有存儲容量大,壽命長,可反復無接觸擦寫的特點。

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